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徐卫国径直往前走,依次穿过晶圆制备区丶光刻区丶刻蚀区丶薄膜沉积区————等十个工序区后,最后才来到了最终测试区。
测试区是跟其他区隔离开的,走进去,入眼是一排整齐的测试机台,此时,一群人正围在一个机台前,低声讨论着什么。
徐卫国走上前,问道:「怎么样,样品出来了吗?」
众人扭脸看向他,大家都包裹的严严实实,但洁净服上有名字跟职务。
「出来了,晶片功能正常,性能也达标,就是————良率有点低,只有百分之三十,我们正在找原因。」有人说道。
这年代的流片成功率还是很高的,毕竟集成电路规模小,特徵尺寸越大成功率越高。
至于良率,一款晶片的良率至少要百分之七十,才算工艺稳定,能够量产,现在显然还不够。
徐卫国道:「你们觉得是哪方面的问题?」
那人递来了一张纸:「这是检测数据。————晶片设计暂时没发现问题,设备之前制造过其它成熟晶片,也没发现问题,所以很可能是制造工艺问题。毕竟是新设备,特徵尺寸一下子缩小这么多,集成规模也提高了好几倍,比以前的工艺要求都高的多。」
徐卫国接过那张纸,迅速浏览了一遍,说道:「新设计加上新设备,良率低也正常。
你们不要急,反正微处理器还没设计完成,你们至少有三四个月的时间去改进。」
众人纷纷点头。晶片这东西,本来就是集成规模越大要求越高,问题也越多,他们对此早有心理准备。
徐卫国问道:「测试合格的晶片有多少?让我看看。」
有人拿来了晶片托盘,上面是一个个凹槽,每个凹槽里都放着一块只有半个指甲盖大
小的黑色存储晶片。
「这是多少?」
「一个托盘装了两百三十块,还有十个托盘,总共是两千两百块左右。」
「总共生产了七片晶圆?」
「对。」
他们生产的晶圆,一片直径是三十厘米,像存储晶片这样的小晶片,一片晶圆就能分割成上千块。而良率是百分之三十,那么一片晶圆中合格的晶片就是三百多块。
七片晶圆,也是流片时的常规数量,能够大概确定良率,成本又可控。
徐卫国点点头,道:「这些晶片,你们留一盘,剩下的都送到计算机实验室吧!」
「好。」
虽然新一代微处理器还在设计,但存储晶片搭配旧款微处理器也同样能用。
有了这款存储晶片,也就能验证下一代电脑的很多新技术了。
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